製品
機器事業部
精密温度制御技術(液体)
装置の温度上昇、熱膨張、熱変形を高精度に制御された液体で保護。フッ素系不活性液体や純水、超純水にも対応します。
納入実績
超純水対応恒温水供給装置
最先端の半導体露光技術に用いられる恒温水供給装置です。
<仕様>
- 温度安定度 ±0.01℃以内
- 超純水対応
電子ビーム描画装置用恒温水供給装置
半導体の原板であるマスクを描画するEB露光装置用。装置内部の複数個所を異なる温度で高精度に制御しています。
<仕様>
- 温度安定度 ±0.02℃以内
- 冷凍機1台による多系統、多チャンネルの温度制御を実現
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