製品

機器事業部

精密温度制御技術（液体）

超精密多系統チラー

半導体製造装置内部の複数個所を異なる温度で高精度に制御しています。

＜仕様＞

• 温度安定度 ±0.01℃以内
• 冷凍機1台による多系統、多チャンネルの温度制御を実現
• R513Aフロン採用

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