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機器事業部

高効率顕熱空調機

「高効率顕熱空調機」は、精密な温度コントロールにおいて従来から必要とされてきた、過冷却→再熱のプロセスを不要とし、冷却のみでダイレクトに精密な温度コントロールを実現する新しいタイプの省エネ型空調機です。

空調システム

特徴

• ドレン排出無し
  顕熱のみの変化なので、コイルで結露水が発生しません。（ドレン配管不要）
• コンパクト化を実現
  新たな空調システムと新型噴流ノズルの採用により、空調機のサイズ（設置平面積）を従来機から62%低減。
• 高いメンテナンス性
  ファンボックス・コイルボックス・冷凍機ユニット・制御盤など、ユニット単位での交換が可能。
• 湿度制御対応（オプション）
  同一空調機寸法で湿度制御タイプも用意。
• 高い省エネ効果
  新型クリスタルジェットでは45％の消費電力削減。（当社従来機比）
  【年間消費電力試算】（TCU1台、RFU1台のセットでの試算。）
  153,000kWh/年（当社従来機280,000kWh/年）
  10円/kWhと仮定すると、装置1セットあたり
  当社従来機比　年間約¥1,300,000削減されます。
• 空冷化対応（オプション）
  コンデンサからの廃熱をクリーンルームのエアで処理。
  用力は電源のみ。冷却水不要。

仕様

温度収束時間	25秒　ガラス基板厚さ 0.7mm ※ガラス基板温度が25℃から23℃±0.2℃になるまでの時間。 ※クリスタルジェットへ適用時
吹き出し温度分布	設定温度±0.1℃
吹き出し清浄度	ISO クラス3
対象基板サイズ	第5世代～第11世代 ※クリスタルジェットへ適用時
電源電圧	3φ 200V ±10%　50/60Hz
有効電力	8.6kW（空調機1台あたり）
冷却水 （水冷の場合）	水温　18～25℃ 水量　2～10Lit/min（空調機1台あたり）
排気 （室内コンデンサの場合）	排気温度　25～38℃ 排気量　10～50m³/min（空調機1台あたり） ※強制排気する場合は間接排気として排気量は50m³/min
使用冷媒	R-407C
空調機サイズ	1,100W×1,600D×1,700H（mm）

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