技術

微粒子コンタミネーション評価技術

クリーンルーム内の浮遊微粒子は、半導体や液晶ディスプレイなどの生産工程で汚染源になることがあります。微粒子によるコンタミネーションを評価するために、気流や粒子の可視化・気流ベクトルの3次元測定・粒子の濃度測定などの評価技術を活用しています。
その一例を紹介します。固形製剤工場のクリーンルームでは、ドアの開閉動作に伴って原料粒子によるクロスコンタミネーションが起こる可能性があります。種々のドアを開閉した場合の汚染を気流可視化により評価しました。

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