研究論文 No.143
省エネルギーを考慮した精密温調システム
発表先
エコデザイン学会連合 EcoDesign2009 第６回環境調和型設計とインバースマニュファクチャリングに関する国際シンポジウム
発表者
正田睦生、河野仁志、中田昌男、丸山隆嗣
内容
露光装置などの精密微細加工機で要求されるｍＫレベルの精密温調において、従来の電気ヒータを廃止して冷凍サイクルのエネルギーのみで精密温度制御を実現したホットガスレヒートシステム（ASES）とインバータ冷凍機の容量制御による精密湿度制御の省エネシステムについて報告する。